日本特殊陶業は、燃料電池の水素漏れに対する予防安全と高効率な発電制御の用途に適用が可能な世界初の「MEMS熱伝導式水素センサ」の開発に成功したと発表した。
燃料電池は水素を燃料としている次世代環境動力源として期待されている。水素は燃料漏れがあった場合のシステムの安全確保と濃度管理による高効率な運転制御が課題となっており、これを検知する水素センサの必要性が高まっている。
今回同社が開発したMEMS熱伝動式水素センサは、シリコンMEMS技術を活用したダイヤフラム構造のマイクロヒータと温度センサが集積した超小型の検知素子で、水素による冷却で発生する微量な水素による微小な熱伝導率変化を検出できる。また、マイクロヒータと温度センサの信号から16ビットマイコンによる精緻なセンシングアルゴリズムを構築した電子回路を持つ。
当面、電動フォークリフト電源や家庭用コジェネ発電システムなどへの用途開拓を進め、2015年以降の量産化が予測されている燃料電池自動車への展開を図る。
