三菱ケミカル、半導体用合成石英粉の生産能力を35%増強へ…2028年から

三菱ケミカルグループの合成石英粉「三菱合成石英」
三菱ケミカルグループの合成石英粉「三菱合成石英」全 1 枚

三菱ケミカルグループは、半導体製造工程で使用される合成石英粉「三菱合成石英」の生産能力を増強すると発表した。

九州事業所・福岡地区(福岡県北九州市)において、現状の生産能力から35%増強する計画で、2028年9月の稼働を予定している。

三菱合成石英は、超高純度を特長とする合成石英粉である。主に半導体用シリコン(インゴット)の製造に使用する「石英るつぼ」や、半導体製造装置内の高純度石英パーツの原料として利用されている。特にインゴットの製造工程では、ウエハ品質を大きく劣化させる不純物の混入を抑制するため、石英るつぼの表面に非常に高い純度が求められている。


《森脇稔》

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