パナソニックは17日、独自の測定プローブを開発することで、縦横100mm以内の平面の中にある最小直径50μmの微細孔や、マイクロマシンセンサーなどの垂直壁面形状をプラスマイナス0.15μmの精度で、2mm/sの速度で測定できる超高精度形状測定機を開発したと発表した。
この測定機は、10月からパナソニック・ファクトリーソリューションズで「UA3P-Lシリーズ」として受注を開始する。
携帯端末や自動車など向けの部品やデバイス分野では、今後ますます小型化や高精度化が求められる。これに対し今回開発した測定機は、部品、デバイス自体、またはその製造用金型の内壁や外壁の形状を、サブミクロンオーダーで測定することが可能。この結果、さらなる機器などの小型化や機能の高度化、または生産効率の向上やリードタイム短縮を図るのに役立つとしている。
