ブリヂストンは9日、独自開発した高純度ファインセラミックス部材「ピュアベータ」が、日立環境財団と日刊工業新聞社が主催する第37回環境賞の優秀賞を受賞したと発表した。表彰式が同日行なわれた。
環境賞は、環境への負荷が少なく持続的発展が可能な研究・開発・調査で、画期的な成果を上げるか、その成果が期待される個人・企業・団体を表彰するもの。同社の製品が環境賞を受賞したのは今回が初めて。
高純度ファインセラミックス部材は、SiC（炭化ケイ素）で構成する焼結体で、純度が高く、耐食性も高く、ダイヤモンドに次ぐ硬度を持つ。1000度以上の高温にも耐久性がある部材で、半導体製造プロセスでの各種製造装置の部品として、多くの半導体製造装置メーカーやデバイスメーカーに供給している。
この高純度ファインセラミックス部材は、これまで使用されている石英やシリコンが使い捨てだったのに対して、洗浄して繰り返し使用できる。省資源化による環境貢献度が高く、半導体製造プロセスのコスト削減にも寄与することが評価され、今回の受賞に結び付いた。
