日立金属は22日、気体流量を精密に制御するマスフローコントローラ（MFC）事業を強化するため、米国のアドバンスド・エナジー・インダストリーズ（AEI）のMFC事業を約40億円で買収することで合意した。
日立金属は、事業買収で半導体製造ラインに必要不可欠なMFCのラインアップを充実して開発力を強化、シェアアップを図る。これによってグローバルな市場で配管機器事業の拡大を図る。
半導体製造ラインでMFCは成膜、エッチングなどを行う気体供給システムの中で精密にガス流量を制御するのに重要な機器の一つ。最近は、半導体製造ラインに加えてフラットパネルディスプレイ、太陽電池パネルやLED製造ライン向けの需要も拡大している。
AEIは、2002年に日本アエラを買収して以来、アエラブランドのMFCを製造・販売してきた。AEIのMFC事業を4400万ドル（約40億円）で2010年度下期に買収し事業を強化、MFCのトップ企業を目指す。
日立金属ではMFC事業で2012年に売上げ100億円を目指す。
