興研、JAXAに世界最高レベルのオープンクリーンシステム「KOACH」を納入
航空
企業動向
KOACHは、半導体デバイス製造用として清浄度ISOクラス1の要求に対応した。100平方メートルのスーパークリーンルーム化を実現したことや、従来のクリーンルームと比べ、ランニングコストが圧倒的に低いこと、ユニットを据え付けるだけなので建屋工事の必要が無く、工期が短いことなどが評価された。
「KOACH」は、大学や研究機関での採用状況が少しずつ進展しているが、民間企業では、採用決定が遅れている。今回、日本でも注目度の高い機関であるJAXAに「KOACH」の性能、有用性が認められたことから、他の研究機関や民間への普及に弾みがつくと見ている。
《レスポンス編集部》
【注目の記事】[PR]
ピックアップ
