ヨコオは、直径わずか0.08mmの「世界最小100μmピッチプローブ」を開発した。すでに量産を開始しており、5月末から顧客への供給を予定している。
このプローブは、半導体製造の前工程検査で使用されるもので、大量のチップが印刷されたシリコンウェハの電気検査に用いられる。プローブは上下のピン（プランジャー）とチューブ（バレル）、スプリングの4つの部品で構成され、ピンを押すとチューブ内のばねが伸縮する仕組みだ。
今回の開発により、直径を従来比約20％細くした直径0.08mmのプローブが実現した。ばねの製造方法を見直し、微細精密加工技術を駆使することで、安定した接触抵抗値、ばね圧、先端位置精度を持つ製品化が可能となった。
