ヨコオは12月17日から19日まで東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2025」に出展すると発表した。
光電融合デバイスおよびミリ波帯無線デバイス向けの検査技術を展示する予定だ。
今回展示するのは「光電検査プローブカード」と「ミリ波帯アンテナインパッケージモジュール用OTA検査装置」の2製品。いずれも2026年の量産化を視野に開発を進めている。
近年、自動運転や遠隔医療、都市インフラなど、電波遅延や瞬断が許されない用途が拡大している。これらの領域では通信の継続性と高信頼性が求められ、5G/6Gをはじめとする次世代通信技術が進展。有線・光・無線といった複数方式を組み合わせたデバイス設計が増加しており、設計仕様だけでは評価しきれない信号品質や安定性を保証できる検査技術の重要性が高まっている。
光電検査プローブカードは、光電子集積回路(PIC)ウエハの検査に対応したプローブカードで、垂直電気プローブと光ファイバーアレイを一体構造で搭載。マイクロアクチュエーターによる光軸調整機構を備えていることが特徴だ。これにより、光信号と電気信号を単一治具で測定でき、測定環境の統合や、データセンター向けフォトニクスデバイスおよび光電融合型デバイスに求められる評価工程の効率化が期待される。
ミリ波帯アンテナインパッケージモジュール用OTA検査装置は、無線性能をOTAで評価するための装置で、レンズ付き電波暗室を採用。電波収束による空間損失の補正を実現している。これにより、測定領域の集約による実質的な小型化を実現し、従来は単体測定が中心だった工程を、50cm×50cmの装置サイズのまま最大25デバイスの同時測定に対応できる検査密度へ高集積化した。これにより、量産工程における検査効率の向上が期待される。本技術は、6G対応デバイス、車載レーダー、医療用通信モジュールなど、信頼性要求の高い領域での活用が期待されている。
ヨコオは、今後も次世代通信や高信頼用途に求められる品質評価に貢献する検査ソリューションの提供を通じ、より豊かな社会の実現に向けて貢献していく。
