レゾナック、世界最大級300mm SiC単結晶基板の成長・加工に成功…EV・AI向け需要に対応

今回開発した300mm(12インチ)SiC単結晶基板(右)
今回開発した300mm(12インチ)SiC単結晶基板(右)全 1 枚

レゾナックは、次世代エレクトロニクス材料である炭化ケイ素(SiC)において、直径300mm(12インチ)のSiC単結晶の成長および基板加工に成功したと発表した。

300mm(12インチ)は、現在開発が進むSiC基板として世界最大級の口径であり(2026年8月時点での公表情報などによる同社調べ)、SiC基板およびSiCエピウェハーの大口径化・高品質化に向けた重要な技術的マイルストーンとなる。

SiCはパワー半導体において、従来のシリコンウェハーを用いたパワー半導体と比べて電力変換時の損失や発熱が少なく、省エネルギー化に寄与する材料として注目されている。

《森脇稔》

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