ニコンは、解像度0.5µm（L/S）のデジタル露光装置の開発に新たに着手すると発表した。
NEDO（国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構）が実施する「ポスト5G情報通信システム基盤強化研究開発事業／先端半導体製造技術の開発（補助）」に採択されたもので、ニコンは「高精細アドバンストパッケージ用デジタル露光装置の開発」を提案し、選ばれた。
本事業は、ポスト5Gに対応した情報通信システムの中核となる技術を開発することで、ポスト5G情報通信システムの開発・製造基盤の強化と、デジタル社会と脱炭素化の両立を目指すものだ。
