日本精工は、特殊環境軸受スペーシアシリーズの新製品として、FPDなどのパネル搬送用真空ロボット向けに、超高真空に対応し、耐久性と負荷容量を高めた「真空ロボット用固体潤滑アンギュラ玉軸受」を開発した。
大型化するFPDや太陽電池のパネルには、高画質化や高歩留まり化の要求が高まっており、パネル搬送用に使われるロボットにも、超高真空下での耐久性と高負荷容量が求められている。
同社は、新機構保持器の開発により、高負荷容量のアンギュラ玉軸受の固体潤滑化に成功。超高真空に対応し、耐久性を従来品比5倍超に高めた真空ロボット用固体潤滑アンギュラ玉軸受を開発した。
真空ロボットメーカを中心に新製品を拡販し、2011年度に3億円の売り上げを目指す。
