大日本スクリーン製造と岐阜大学は、太陽電池パネルのシリコン膜の測定技術に関する共同研究契約をこのほど締結、次世代型薄型太陽電池の評価技術研究を開始すると発表した。
今回、両者は、安定した性能と品質を持つ次世代太陽電池の生産に寄与することを目的に、従来は対応できなかった微結晶シリコンの膜厚、膜質を正確に測定する技術の共同研究を行う。
半導体業界などで多くの実績のある膜厚測定に関する装置技術を持つ大日本スクリーンは、太陽光発電システムに関する最先端技術の研究開発を進める岐阜大学との共同研究成果を活用し、2009年末をめどに、次世代の太陽電池の一つとされる薄膜シリコン太陽電池を構成する微結晶シリコン膜を大面積で正確に測定できる世界初の膜厚測定装置の発売へ向けて応用技術研究を推進する。
大日本スクリーンと岐阜大学は、今回の産学連携研究を通して分光エリプソ式膜厚測定装置の機能を一層強化し、急激な成長が見込まれる太陽電池業界での新たな製造プロセス確立を目指す。
