旭硝子、半導体デバイス製造向け 感光性絶縁膜を開発

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旭硝子は、新しい感光性絶縁膜「ALポリマーX2000」シリーズの開発に成功した。この製品は半導体デバイスの製造工程での再配線層を主なターゲット用途とし、熱特性、電気特性、機械的特性が高いレベルでバランスされており、使いやすい製品としている。生産は千葉工場で行い、2009年1月から販売する。

今回開発した新しい製品は、同社保有するコアテクノロジーの1つであるフッ素化学技術を活かして開発したもの。低温硬化特性(熱キュア温度180-250度)、低誘電率特性(比誘電率2.6 - 2.7)、高伸張特性(伸度20%)などの、各性能をバランスよく実現した。加えて、高い解像度、平坦化特性と低吸水性を付加し、今後ますます微細化、高速化が進む半導体回路の開発、製造に有用となる。
 
デバイスへの適用評価には米国RTIインターナショナル社の協力の下、半導体デバイスのパッケージング工程での実証検討を実施した。

《レスポンス編集部》

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