HORIBAグループで半導体事業を担う堀場エステックは、チャンバー内の圧力測定に使用されるキャパシタンスマノメーター「VG-500S」(隔膜式真空計)を12月17日に発売する。この新製品をSEMICON Japan 2025に出展する。
近年、半導体デバイスの微細化・三次元構造化が進展し、製造プロセスの複雑化が加速している。高品質な半導体を安定的に供給するためには、より高度なプロセス管理と精密な制御が不可欠だ。特に成膜やエッチング工程では、チャンバー内へのガス供給量の制御に加え、真空状態の維持なども歩留まり改善や生産性向上に寄与する重要な要素となっている。
本製品は、こうしたニーズに対応し、100～200度という高温プロセスでも高精度かつ安定した圧力測定を実現するとともに、独自アルゴリズムの採用により応答時間を従来比4倍に高速化し、半導体製造プロセスの安定稼働に貢献する。
半導体デバイスの微細化が進む中、その製造プロセスにおいて使用される材料ガスの種類は多様化の一途をたどっている。成膜やエッチングなどの工程では、材料ガスの反応を精密に管理し、不純物の混入を防ぐため、チャンバー内における真空状態の維持が欠かせない。特に蒸気圧が低い材料ガスを用いる場合には、気化した後のガスが冷えて液体に戻らないように、配管全体を加熱して温度を一定に保つ必要がある。そのため、このような環境で使用される真空計には、気化した原料が結露や熱分解を起こさないように、センサー部自体を適切な温度に管理し、圧力測定することが求められている。
「VG-500S」は、材料やプロセスに応じてセンサー部の温度を100～200度の範囲で顧客の要望に合わせて設定できる仕様とした(注文時に温度を指定)。これにより、センサー部での結露や熱分解のリスクを軽減し、安定した圧力測定を可能にする。さらに、圧力センサー部には独自アルゴリズムを採用し、応答時間を従来比4倍に向上させるとともに、ステンレスのダイアフラムを用いることで、高速応答と高精度測定の両立を実現。半導体製造プロセスの安定稼働に貢献する。
堀場エステックは、2015年にキャパシタンスマノメーター「VG-200」を発売して以来、高い精度と安定性が評価され、国内外でVGシリーズを展開してきた。海外市場で高い評価を得ている「VG-200S」の特長を継承しつつ、高温プロセスでの圧力測定ニーズに応える「VG-500S」を新たに加えることで、ラインアップをさらに拡充し、グローバルでの販売体制を強化する。
本製品を12月17日から19日まで東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2025」に出展する予定だ。
