SiCエピウェハーの製造技術、レゾナックと電力中央研究所が市村産業賞を受賞

SiCエピウェハー
SiCエピウェハー全 1 枚

レゾナックと電力中央研究所は、「パワー半導体用高品質SiCエピタキシャルウェハー(エピウェハー)の高生産性製造技術」の開発において、市村清新技術財団が主催する第58回市村産業賞「貢献賞」を共同で受賞した。

本技術は、次世代パワー半導体材料として注目されるSiC(シリコンカーバイド)エピウェハーの高品質化と高生産性の両立を実現するものだ。

レゾナックは電力中央研究所との共同研究を基盤に、装置メーカーとの技術連携やデバイスメーカーなどからの評価・フィードバックを取り入れながら開発を進めてきた。EV(電気自動車)、データセンター電源、鉄道、電力制御機器などにおける省エネルギー化と高効率化への貢献が期待されている。


《森脇稔》

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