パテント・リザルトは6月19日、「半導体製造装置業界 他社牽制力ランキング2025」を発表した。特許審査の過程で、他社特許の拒絶理由として引用された件数を企業別に集計したものだ。
このランキングは、競合他社が特許権を取得する際の阻害要因となる先行技術をどれだけ保有しているかを示す指標のひとつ。技術開発の競争力や知財戦略の強さを測る材料として注目される。
集計の結果、2025年に最も多く引用された企業は東京エレクトロンだった。2位はSCREENホールディングス、3位はアプライド マテリアルズ（AMAT）が続いた。
1位の東京エレクトロンで最も引用された特許は、「ヒータ素線の断線前に寿命を予測するため、昇温期間中の電力最大値と振幅和を測定し、閾値超過時に警報を発する装置」に関する技術だ。島津製作所やオムロンなど計5件の審査過程で引用された。
また、「金属含有レジストからのエッジビード領域の金属残留物を低減する方法」に関する技術も引用件数が多く、サムスンSDIなど計4件の拒絶理由として引用された。2025年に東京エレクトロンの特許の影響を受けた企業としては、AMAT、SCREENホールディングス、ラムリサーチなどが挙げられる。
