SiCパワー半導体のAC-BTI試験、試験時間を最大75%短縮する新サービス開始…OKIエンジニアリング

AC-BTI試験機を使用する様子
AC-BTI試験機を使用する様子全 1 枚

沖エンジニアリング(OKIエンジニアリング)は、炭化ケイ素(SiC)パワー半導体向けの信頼性試験サービス「AC-BTI試験サービス」を強化し、提供を開始した。

SiCパワー半導体は、従来のシリコン(Si)製パワー半導体と比べて電力損失を抑えられるため、電気自動車やデータセンター向け電源、風力発電関連機器、さらには宇宙機器への採用が広がっている。

一方、SiCパワー半導体の一種であるSiC MOSFETには、長期間にわたるスイッチング動作(オン/オフの繰り返し)によって、しきい値電圧が不可逆的に上昇する固有の劣化モードがある。この劣化は電力損失の増加につながる場合があり、長期信頼性を確保するうえで重要な評価課題となっている。

《森脇稔》

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