島津製作所、中国・天津でターボ分子ポンプ生産開始…半導体業界向けに年間2000台を見込む

島津製作所は、中国の生産子会社である天津島津液圧有限公司（TSH）にターボ分子ポンプ（TMP）の生産ラインを新設し、生産を開始した。

TMPは、装置内部にある多数の金属製ブレード（羽根）を毎分数万回という超高速で回転させることで気体分子を弾き飛ばし、真空状態を作り出す装置だ。

島津製作所製のTMPは、半導体製造装置やコーティング装置などに搭載されている。